嘉芯迦能JUPITER电热水洗式SCR（TP-600HPS）
TP-600HPS为电热分解水洗设备，是一台能够分解半导体制程中所产生的有毒气体的设备。在半导体制程中会排出很多不同的气体，而这些各式各样的气体应经过适当的分解处理。因此半导体设备多半需要经过精密设计的处理设备来分解这些气体。Thermal-Wet就是专为这个目的而设计的,，并比一般的Heat-Wet气体分解机器多了一些独特的功能，其中包括：
1.崁入式加热器
提高了有毒气体氧化，如硅烷能与嵌入式加热器其热能气体做有效率的交换，而大直径的腔体则提供足够的时间提高温度。
2.自我保护机制
防止腐蚀性气体伤害与粉末堵塞在腔体。
3.冷却系统
防止粉尘阻塞并利用循环水洗方式提高消除水溶性气体的效率。
4.洗涤塔
提供最大功效的湿处理效率，及降低气体的温度。
5.除雾气
利用冷水与空气来降低气体的温度并同时吸附气体中的水气防止流出。
