燃烧水洗式废气处理设备(CP-600IS)是一种能够净化半导体生产过程中产出的有毒气体。生产所使用的气体大多具有毒性、或对环境或人体有严重损害，因此，将气体排放置大气前必须经过净化设备处理，不同的气体所须的处理方式也不相同，可燃、爆炸性气体需要燃烧处理，腐蚀性气体需要中和处理，PFC气体需要高温处理才能够分解。CP-800IS提供燃烧与水洗的方式高效能处理可燃与腐蚀性气体以及PFC气体，且不同于一般的尾器处理设备在预防粉尘沾黏上更有独特的专利设计。