CA-320FS是一台能够净化半导体工艺过程中产生的有毒气体的设备。该设备主要用化学反应方式将制程可燃性、毒性气体以氧化裂解，或是腐蚀性、酸咸性气体以酸硷中和方式，将其制程废气处理成无毒气体，并且将反应后之生成物保存于反应桶内。最终将室温下之一般无毒气体往尾气处理设备排风管方向排出。