嘉芯迦能VENUS等离子水洗式SCR（PX-600NTS）
PX-600NTS等离子分解水洗设备，是㇐台能够分解半导体制程中所产生的有毒气体。在半导体制程中所使用的气体或在制程中所产生出来的气体多半为有毒气体，因此必须将那些气体利用热分解及洗涤的方式将其分解后才可排出到空气中。在半导体制程中会排出很多不同的气体，而这些各式各样的气体应经过适当的分解处里。因此半导体设备多半需要经过精密设计的尾气处理设备来分解这些气体。PX-600NTS就是专为这个目的而设计的，并比㇐般的Plasma-Wet气体分解机器多了㇐些独特的功能：
电浆火炬
提高了有毒氧化气体，如硅烷独特的设计为制程气体制造能与电浆火炬匹配的流场，使电浆火炬能发挥最大效率的交换，而大直径的腔体则提供足够的时间提高温度。
自我保护机制
防止腐蚀性气体伤害与粉末堵塞在腔体。
冷却系统
防止粉尘阻塞并利用循环洗水方式提高消除水溶性气体的效率。
洗涤塔
提供最大功效的湿处理效率，及降低气体的温度。
除雾气
利用冷水与空气来降低气体的温度并同时吸附气体中的水气防止流出。
